洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机械隔间、建筑结构等所爆发的灰尘之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其灰尘的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分洁净。然而洁净室内除了人以外，尚有机械等之发尘源，这些爆发的灰尘一旦扩散，即无法坚持洁净空间，因此必须利用气流将爆发的灰尘迅速排出室外。